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體積電阻率表面電阻率測定儀
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ATI-1000S型半導體體積電阻率測試儀主要用于半導體材料導電性能的評估和測試，該系統(tǒng)采用四線電阻法測量原理進行設計開發(fā)，可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導體材料電阻和電阻率，可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時間變化的曲線。
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